Index der Messgrößen

Dreidimensionale Vermessung von Oberflächen
 
 
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Profilometer (Weißlichtinterferometer)

DLR-Institut für Technische Physik

· Typ: Veeco NT9100, VSI (Vertical Scanning Interferometry) und PSI (Phase Shifting Interferometry) · Objektive: 2.5X, 10X und 50X, automatisierter Objektivrevolver · „Stitching“ für Vermessung großer, zusammenhängender Flächen in x,y-Richtung · Verfahrweg: z: 100 mm, x,y: 150 mm · Scan-Bereich z: 0.1 nm bis 10 mm.

 
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