Index der Messgrößen

Elementverteilung
 
 
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Rasterelektronenmikroskopie (SEM / EDX)

DLR-Institut für Technische Thermodynamik

Bei der Rasterelektronenmikroskopie wird die Oberfläche mit einem feinfokussierten Elektronenstrahl abgerastert. Die Sekundärelektronen und die rückgestreuten Elektroden liefern die Informationen über die Topologie. Ausserdem gibt es einen Materialkontrast in Abhängigkeit der Atommasse, bzw. der Austrittsarbeit. Durch die hochenergetischen Elektroden wird zusätzlich auch Röntgenstrahlung von der Probe emittiert.

 
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