Index der Messgrößen

Gesamtschichtdicke bis einige 100µm
 
 
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EB-PVD Beschichtungsanlage

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Für die Herstellung von EB-PVD-Schichten werden 2 EB-PVD-Anlagen (EB-PVD: electron beam physical vapour deposition) betrieben: eine 60kW-Eintiegelanlage (Leybold) und eine 150kW-Zweitiegelanlage (vonArdenne Anlagentechnik). Die 60kW-Anlage verfügt über das klassische 3-Kammer-Design (Be- und Entladekammer/ Heizkammer/Beschichtungskammer) mit Sting zur Probenpositionierung und Bewegung.

 
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