Profilometer (Weißlichtinterferometer)

Messgrößen

  • Dreidimensionale Vermessung von Oberflächen

Prinzip

  • Typ: Veeco NT9100, VSI (Vertical Scanning Interferometry) und PSI (Phase Shifting Interferometry)
  • Objektive: 2.5X, 10X und 50X, automatisierter Objektivrevolver
  • „Stitching“ für Vermessung großer, zusammenhängender Flächen in x,y-Richtung
  • Verfahrweg: z: 100 mm, x,y: 150 mm
  • Scan-Bereich z: 0.1 nm bis 10 mm

Anwendung

Berührungslose dreidimensionale Vermessung von rauen bis sehr glatten Oberflächen, Bestimmung abgeleiteter Größen wie Rauigkeit, Ebenheit oder Volumen

Literatur / Referenzen

  • Infobroschüre: http://www.veeco.com/pdfs/brochures/B506-Rev_A7-Wyko_NT_Series_Optical_Profilers-Brochure_(HiRes).pdf
  • Weitere Infos: http://www.veeco.com/pdfs/webinar-slides/A-First-Look-at-NT9080-webinar-slides-100408.pdf

Institut / Einrichtung

DLR-Institut für Technische Physik

Kontakt

Stephanie Karg
DLR-Institut für Technische Physik

Dr. phil. nat. Dorothee Maria Rück
Technologiemarketing

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