Röntgenmikroanalyse (EDX), Zusatzgerät zum REM

Anlagenbeschreibung

Bei der Röntgenmikroanalyse wird, wie beim REM, die zu untersuchende Probe mit einem Elektronenstrahl bestrahlt. Dabei entsteht, neben Sekundärelektronen, auch Röntgenstrahlung, die charakteristische Spektrallinien der einzelnen Elemente der Probe enthält. Diese Strahlung wird nach der Energie ihrer Quanten zerlegt. Die Strahlungsleistung ist ein gut eichbares Maß für die quantitative Analyse. Eingesetzt wird dieses System hauptsächlich zur qualitativen und quantitativen Analyse von Schichtsystemen bei Hoch- und Niedertemperaturbrennstoffzellen, wobei Alterungs- und Diffusionsvorgänge im Vordergrund stehen.

Institut / Einrichtung

DLR-Institut für Technische Thermodynamik

Kontakt

Dr.-Ing. Robert Ruckdäschel
DLR-Institut für Technische Thermodynamik

Dr. phil. nat. Dorothee Maria Rück
Technologiemarketing