Das konfokale Laser Scanning Mikroskop (LSM)

Anwendung

Mit dem Laser Scanning Mikroskop (LSM, Laserrastermikroskop) können metallische, keramische sowie Polymere, transparente und opake Materialien mikroskopisch in Bezug auf ihre Oberflächen-Beschaffenheit charakterisiert werden. Die Methode arbeitet ohne Kontakt und ist zerstörungsfrei.

Das konfokale Prinzip ermöglicht es, Schnitte mit definiertem Fokus senkrecht zur Probennormalen (z-Achse) aufzunehmen (z-Stapel). Hieraus wird dann ein dreidimensionales Modell der Probenoberfläche erstellt. Die Technik liefert Informationen zur Oberflächentopographie und erlaubt die Bestimmung von Welligkeit/Rauheit, die Profilometrie und Schichtdickenmessung.

Die Verwendung von Laserlicht im violetten Spektralbereich in Kombination mit Objektiven hoher numerischer Apertur ermöglicht die optische Auflösung lateraler Details bis zu ca. 120nm (Linienstruktur/-breite). Der Messbereich senkrecht zur Probenoberfläche (z-Achse) beträgt, in Abhängigkeit von der Auflösung und Gesichtsfeld, 14,5mm bis 230µm. Parallel zur z-Achse kann eine Auflösung bis 20nm erreicht werden. Geneigte Flächen, bis max. 72°, sind bei der höchsten Auflösung vermessbar. Das automatische Abfahren des x/y Scanningtisches ermöglicht eine sequentielle Untersuchung von Bereichen der Probenoberfläche, welche größer als das optische Gesichtsfeld sind.

Das Gerät basiert auf einem konventionellen Auflichtmikroskop.

Institut / Einrichtung

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Kontakt

Philipp Watermeyer
DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Jochen Krampe
Technologiemarketing