MessTec - Die Messtechnik- und Anlagendatenbank des DLR

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CTEM - Kombinierte thermoelektische Messung

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Die CTEM (Combined ThermoElectric Measurement) vereint innerhalb eines Zyklus der Probentemperatur die temperaturabhängige Messung der vier zentralen Materialgrößen eines thermoelektrischen Funktionswerkstoffs: · Seebeck-Koeffizient (differentielle Thermospannung, „Thermokraft“) · Elektrische Leitfähigkeit · Thermische Leitfähigkeit · Thermoelektrische Effektivität (Direktmessung nach der HARMAN-Methode).

Das konfokale Laser Scanning Mikroskop (LSM)

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

DC/RF-Labor-Sputteranlage

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Die Laborsputteranlage LA 250 S (vonArdenne Anlagentechnik) besitzt 2 Quellen mit RF und DC-Versorgung (600 und 1500 W), die Möglichkeit zur Reinigung mittels Sputterätzer, BIAS-Spannung am Substrat, Einleitung von 3 externen Gasen, Totaldruckmessung und Plasma-Emmissions-Monitoring.

Die Zwei-Strahl-Ionenfeinstrahlanlage (FIB)

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Eine Zwei-Strahl-Ionenfeinstrahlanlage (Focused Ion Beam /Dual Beam, FIB/SEM) ist eins der vielseitigsten Werkzeuge, das für die Material- und Werkstoff-Forschung verfügbar ist. Sie kombiniert ein Rasterelektronenmikroskop mit einer Ionensäule. Diese erlaubt, analog zum Rasterelektronenmikroskop, die Abbildung der Probenoberfläche mit Sekundärelektronen und –ionen. Bei geeigneter Wahl der Parameter kann mit dem Ionenstrahl Material abgetragen werden.

EB-PVD Beschichtungsanlage

DLR-Institut für Werkstoff-Forschung

Für die Herstellung von EB-PVD-Schichten werden 2 EB-PVD-Anlagen (EB-PVD: electron beam physical vapour deposition) betrieben: eine 60kW-Eintiegelanlage (Leybold) und eine 150kW-Zweitiegelanlage (vonArdenne Anlagentechnik). Die 60kW-Anlage verfügt über das klassische 3-Kammer-Design (Be- und Entladekammer/ Heizkammer/Beschichtungskammer) mit Sting zur Probenpositionierung und Bewegung.

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